Evactron CombiClean System，產(chǎn)品型號：91000-17。

Evactron CombiClean System，描述：

規(guī)格：

• VentDetect™ 技術(shù)

• 與旋片泵兼容，無需擔(dān)心油回流

• 干氮?dú)獯祾吖δ芸稍诘入x子清洗后保持樣品清潔

• 存儲(chǔ)模式允許在使用外部 PRS 時(shí)持續(xù)對樣品進(jìn)行干燥氮?dú)獯祾?/span>

• 系統(tǒng)監(jiān)控任一 PRS 單元的操作

• 板載控制允許只需輕按一下開關(guān)即可在內(nèi)部和外部 PRS 之間切換清潔模式

• 寬壓力范圍

泵規(guī)格：

• 額定流量為 4 cfm/6.8 m3/h 或更高的干式渦旋泵。

• 選額定值為 ~8 cfm/13.5 m3/h 的泵。

• 您可能需要將泵閥上的 KF16 法蘭與許多低真空泵上的 KF25 法蘭相匹配。

• 使用直徑為 2.5 厘米或更大的粗線。

該系統(tǒng)具有一個(gè)帶嵌入式軟件的微處理器，用于調(diào)節(jié)泄漏閥并通過 MicroPirani 壓力表控制腔室壓力。

微處理器還調(diào)節(jié) RF 功率，有一個(gè)時(shí)鐘來為下游等離子體清潔和氮?dú)獯祾咧芷谟?jì)時(shí)，并記錄操作和故障日志。

可以從前面板或遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)設(shè)置使用 Evactron 。

上海牧榮生物科技有限公司

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